TM5300-6 (Optical Wafer Thickness MicroGauge)
- Compact designable size
- Up to 6
- High accuracy & repeatability
- No calibration needed
- User friendly operation program (LTV, 3D)
- High speed measurement (500Hz for Warp / 1kHz for Thickness)
- Thickness / Warp / Bow / LTV / TTV / Stress measurement
เครื่องวัดความหนาเวเฟอร์แบบออปติกความละเอียดสูง
- ออกแบบให้มีขนาดกะทัดรัดได้
- รองรับได้สูงสุด 6 ช่อง/6 หัววัด (ตามการกำหนดระบบ)
- มีความแม่นยำสูงและให้ผลการวัดซ้ำได้ดี
- ไม่จำเป็นต้องสอบเทียบ
- โปรแกรมควบคุมใช้งานง่าย รองรับการแสดงผลแบบ LTV และ 3 มิติ (3D)
- ความเร็วในการวัดสูง (500 Hz สำหรับการวัด Warp / 1 kHz สำหรับการวัดความหนา)
- รองรับการวัดความหนา, Warp, Bow, LTV, TTV และความเค้น (Stress)